PRODUCT
외부에서 공급받은 Precursor를 LDS수 만큼
분기하여 Carrier Gas를 이용하여 LDS까지
안전하게 공급하는 장치
VMB(Valve Manifold Box)
외부에서 공급받은 Precursor를 LDS 수만큼 분기하여 Carrier
Gas를 이용하여 LDS까지 안전하게 공급하는 장치
시스템 특징
- PLC 제어를 통한 전자동 시스템
- Touch Monitor를 이용한 사용자 시인성 확보 및 조작이 편리
- Precursor 특성에 따른 안전장치 설치(가스, 불꽃, 연기, 온도 등)
- 조작 방지를 위한 interlock 기능
- 시스템 Error 및 Alarm 이력관리 기능
- 공정설비와의 통신 기능 지원
- 방폭 인증 제품
- 내장 소화기 설치 가능
UCHEM T-30
| 항목 | 설명서 |
|---|---|
| 모델명 | UCHEM T-30 (VMB) |
| 리필방식 | 외부 or 대용량 공급장치 |
| 장비크기 | 900(W) x 750(D) x 1,800(H) |
| 공급라인 | 최대 10 Stick |
| 적용Chemical | TEB, TEOS, TEPO 등 |
