Filling System

외부 대용량 저장 탱크에서 일정량의 Chemical을 Canister로 공급하는 장치

정밀한 SCALE로 정확한 Chemical량을 측정하여 공급

항목설명서
모델명

Filling System

리필방식Bulk to process
장비크기

5,000(W) x 1,470(D) x 2,600(H)
4,000(W) x 1,200(D) x 2,600(H)

적용Chemical4MS, HCDS, TEOS, OMCTS, 등등
공급용량200L


FCHEM T-20

일반 LDS장비와 다르게 배관의 재질이 PFA 재질의 배관으로 이루어진 장비로

강한 부식성의 CHEMICAL의 이송에 적합한 장치

항목설명서
모델명FCHEM T-20
리필/공급방식Bulk to Process
공급라인

최대 4 Stick

잔량관리Weight Scale, Ultrasonic Sensor
장비크기

500(W) x 650(D) x 2,000(H)

적용가스DCE, TRANS1, TRANS2 등
저장소용량
2L~19L