PRODUCT
반도체 제조 공정에서 사용되는 특수 Gas를
Main System 공정설비까지 안정적이고 지속적인
공급을 하는 장치
GDS(GAS DELIVERY SYSTEM)
반도체 제조 공정에서 사용되는 특수 Gas를 Main System 공정설비까지
안정적이고 지속적인 공급을 하는 장치
시스템 특징
- PLC 제어를 통한 전자동 시스템
- Gas 특성에 따른 안전장치 설치
- 공정설비와의 통신 기능 지원
- 방폭 지역 설치 가능 (Ex-ll C T4)
- Auto Change or single type
THREE G
| 항목 | 설명서 |
|---|---|
| 모델명 | Three G |
| 리필/공급방식 | 자동 공급전환 방식 |
| 장비크기 | Common 800(W) x 650(D) x 2,100(H) |
| 적용가스 | SiH4, CH2F2, Si2H6, C4F6, BCl3, Cl2, HCl, ClF3, HBr, N2O, NF3 , 등등 |
