PRODUCT
대용량 Precursor 저장소에서 Precursor를
Carrier Gas를 이용하여 일정한 압력으로
VMB 또는 LDS 장치로 이송 시켜주는 장치
BCD(Bulk Chemical Delivery)
대용량 Precursor 저장소에서 Precursor를 Carrier Gas를 이용하여 일정한
압력으로 VMB 또는 LDS 장치로 이송시켜주는 장치
시스템 특징
- PLC 제어를 통한 전자동 시스템
- Touch Monitor를 이용한 사용자 시인성 확보 및 조작이 편리
- Precursor 특성에 따른 안전장치 설치(가스, 불꽃, 연기, 온도 등)
- 조작 방지를 위한 interlock 기능
- 시스템 Error 및 Alarm 이력관리 기능
- 공정설비와의 통신 기능 지원
- 방폭 인증 제품
UCHEM T-20
| 항목 | 설명서 |
|---|---|
| 모델명 | UCHEM T-20 (Auto change BCD) |
| 리필방식 | Bulk A, B Auto Cross Over Supply |
| 장비크기 | 2,100(W) x 1,100(D) x 2,000(H) |
| 공급라인 | 최대 6 Stick |
| 잔량관리 | Weight Scale, Ultrasonic Sensor |
| 적용Chemical | TMA, SiCl4, TeCl4, TEOS, TEPO 등 |
| 저장소용량 | 200L |
