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제품소개

PRODUCT


ARS

반도체 제조 공정에서 사용되는 Precursor를

Carrier Gas를 이용하여 일정한 압력으로

Main System 공정설비까지 안정적이고 지속적인

공급을 하는 장치



시스템 특징

- PLC 제어를 통한 전자동 시스템

- Touch Monitor를 이용한 사용자 시인성 확보 및 조작이 편리

- Precursor 특성에 따른 안전장치 설치(가스, 불꽃, 연기, 온도 등)

- 조작 방지를 위한 interlock 기능

- 시스템 Error 및 Alarm 이력관리 기능

- 공정설비와의 통신 기능 지원

- 방폭 인증 제품

- 내장 소화기 설치 가능

UCHEM T-70

항목설명서
모델명UCHEM T-70 (ARS)
리필/공급방식Process A, B Canister Change / Process A, B Auto Cross Over Supply
장비크기

1,250(W) x 700(D) x 2,000(H)

공급라인
3 Stick
잔량관리
Weight Scale, Ultrasonic Sensor
적용가스

TEMAHf, TEMAZr, TMA, HBO, TEB등

저장소용량2L~19L


UCHEM T-80

항목설명서
모델명UCHEM T-80 (ARS)
리필방식Bulk to Process / 2Process Supply
장비크기

1,090(W) x 780(D) x 2,030(H)

공급라인
2 Stick
잔량관리
Weight Scale, Ultrasonic Sensor
적용Chemical

ACP-2, ZAC, TMA, SSP, HBO, TEB 등

저장소용량2L~+19L


UCHEM T-80 (one process)

항목설명서
모델명T-80(ARS)
리필 / 공급방식Bulk to Process / 1 Process Supply
장비크기

1,090(W) x 780(D) x 2,030(H)

공급라인
4 Stick
잔량관리
Weight Scale, Ultrasonic Sensor
적용Chemical

ACP-2, ZAC, TMA, SSP, HBO, TEA 등

저장소최대용량19L